sem原理、tem原理、sem統計在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說

二次電子：散射的電子成因包括彈性碰撞與非彈性碰撞，當入射電子與材料表面原子

　作用時，會將表面的原子外圍軌道上面的電子打出來，被打出來的電子稱

　為二次電子，這種碰撞稱為非彈性碰撞，非彈性碰撞只能有電荷的轉移並

　不會傳遞能量，我們可經由二次電子的訊號來觀察樣品表面型態。

　入射電子的能量大，造成的二次電子能量不一定大，因為入射能量大的話

　，會滲透到材料的內部，當二次電子要從內部跑到外部一定會損失更多的

　能量，因為會有碰撞效應，所以二次電子的能量會因碰撞而變小。


歐傑電子：當原子內層電子受到外來能量源的激發時（如電子束）而脫離原子時，此

　時二次電子跳出去後，原子的外層電子將很快的遷隆至內層電子的空穴並

　 釋放能量，所被釋出的能量可能會以Ｘ型態釋出，或者此釋出的能量轉而

　激發另一外層的電子，使其脫離原子，我們稱此被打出的電子為歐傑電子。

　歐傑電子的產生必須要３個以上並且包含２個電子軌域的電子始能產生，

　所以氫（Ｈ）及氦（Ｈe)二種元素是不會產生歐傑電子的。


可以將二次電子看為被直接撞擊出去的電子，而歐傑電子則是因為吸收了二次電子所

造成的能量所產生的！！

我們可利用偵測歐傑電子的能量來判斷材料表面的元素成分與含量。

而ＳＥＭ就是利用二次電子來成像，使放大倍率比光學顯微鏡大很多。







: 想問一下
: 歐傑電子 二次電子
: 之間有什麼差別
: 各是什麼東西

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